真空漏孔的校準步驟――相比法

真空漏孔的校準步驟――相比法
　　 相比法校準真空漏孔時，要將從真空漏孔流出的氣體發生的效應與參考標準相比。為避免丈量儀器的非線性和漂移帶來的偏差，參考標準應與真空漏孔的值盡能夠接近。
靜態相比法
氣體微流量表靜態相比法
　　 如圖6所示，按序將真空漏孔流出的氣體QL和藹體微流量表流出的氣體Q，分別惹人到一個真空室中，再顛末限流孔被真空泵抽走，相比它們在真空室中發生的靜態平衡壓力輸出旌旗燈號(分別為HL和Hs)，爾后用式(9)劃算出真空漏孔的漏率。
QL=(HL/Hs)Qs　(9)
此步驟中，關頭技術之一在意氣體微流量表。表1是美國標準技術研究院(NIST)、德國物理技術研究院(PTB)和中國LIP的相比法校準真空漏孔裝置的技術目標。
參考漏孔靜態相比法
　　 相比被校真空漏孔和已知漏率為口，的參考漏孔在檢漏儀中的輸出旌旗燈號HL和Hs，用式(10)劃算被校真空漏孔的漏率。
(10)
　　 式中H0為檢漏儀的本底旌旗燈號;as和aL分別為參考漏孔和被校漏孔的熱度系數;△Ts，和△TL分別為校訂點參考漏孔和被校漏孔與參考熱度的偏差。那么Qs、和QL非常接近，則此步驟中最大的偏差源來自Qs的量值，因此作為參考標準用的參考漏孔務必按期用氣體微流量標準或其他高精度的絕對式漏率標準持續校準。這類步驟輕易適用，很多漏孔校準實驗室都用它對適用型參考漏孔(作為非傳.遞標準用的參考漏孔)持續校準。
靜態相比法
定量氣體靜態相比法
　　 從被校真空漏孔流出的氣體在體積V內積累一段功夫后，會組成一個分壓力，用質譜計將此分壓力與標準分壓力持續相比，爾后可落空真空漏孔的漏率。標準分壓力可用靜態縮短法或從已知漏率的漏孔流出氣體積累而落空。
　　 美國SNL用靜態縮短法失掉標準分壓力，如圖7所示。在小容器V.內充入壓力為Pt的校準氣體(深淺為C)縮短到大容器V中作為標準壓力。歷次校訂點，用小容器V.從大容器V中取樣，爾后靜態縮短到Vm中，由質譜計丈量其分壓力旌旗燈號Hs;再將被校參考漏孔經由過程功夫△t后在體積V.x。二中積累的氣體靜態縮短到Vm中，由質譜計丈量其分壓力旌旗燈號Hx。最后用下式劃算被校參考漏孔的漏率QL
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