正壓漏孔校準安裝
正壓漏孔校準安裝是校準氣體漏率的計量規(guī)范，可采納定容法和定量氣體靜態(tài)比擬法對正壓漏孔繼續(xù)校準，校準規(guī)模為1×102~5×10-5Pa·L/s.
在航天出品研制和生年中，正壓檢漏技能已被寬泛地采納，最罕用的是皂泡法和水泡法。因為對正壓檢漏的牢靠性提出了更高的務(wù)求，需采納質(zhì)譜檢漏技能，因而要用正壓漏孔對證譜檢漏儀繼續(xù)標定，從而提出了正壓漏孔的校準問題。
海內(nèi)外對真空漏孔（漏孔的一端為大氣壓，另一端為真空）的校準技能鉆研得比擬成熟，曾經(jīng)研制了多種測量原理的校準安裝，并在相反校準安裝間繼續(xù)了比對鉆研。關(guān)于正壓漏孔的校準，所以受到正壓檢漏定量性差和校準條件比擬刻薄的制約，鉆研作業(yè)只是剛剛結(jié)束。
經(jīng)過對各族真空漏孔和正壓漏孔校準步驟的比擬和綜合，提出了正壓漏孔的校準步驟，并利用已建的氣體微流量規(guī)范安裝和現(xiàn)有的儀器設(shè)施，對正壓漏孔的校準步驟繼續(xù)了試驗鉆研。在一大批實踐綜合和試驗鉆研的根底上，研制了正壓漏孔校準安裝。1、校準安裝
正壓漏孔是在給定熱度和出口壓力的條件下，正壓漏孔校準安裝由定容法校準零碎和定量氣體靜態(tài)比擬法校準零碎兩全體組成，如圖1所示。
圖中，1，2為氣瓶；3,4,7,11,15,19,21為截上閥；5為待校漏孔；6，8，13為相對式庫容規(guī)；9為三通閥；10為規(guī)范體積；12為定容室I;14為差壓式庫容規(guī)；16為針閥，12為定容室Ⅰ"；14為差壓式庫容規(guī)；16為針閥，17為定容室Ⅱ；18，28為插板閥；20為小孔；22,26為冷負極規(guī)，23為四極質(zhì)譜計；24為質(zhì)譜綜合室；25為限流孔；27為抽氣室；29為濺射離子泵；30，31，33為分子泵；32，34為電泵。
1.1、定容法
在熱度恒定的條件下，用壓力p和體積V的乘積pV示意氣體量，那時漏孔漏率Q就是pV對工夫t的全微分，即：
那末體積維持一成不變，則為定容法；那末壓力維持一成不變，則為恒壓法。關(guān)于校準正壓漏孔來說，定容法與恒壓法相比，測量下限輕易蔓延；測量上限都受到熱度穩(wěn)定的莫須有，根本相反。但恒壓法校準安裝的構(gòu)造比擬簡單，技能難度較大，故正壓漏孔校準正常采納定容法。
用定容法校準正壓漏孔時，在定容室中充入1個大氣壓的大氣，在配氣零碎中充入2個大氣壓的示透氣體。將正壓漏孔的入口端與定容室相聯(lián)接，出口端與配氣零碎相聯(lián)接。經(jīng)過正壓漏孔把示透氣體引入到定容室中，導(dǎo)致定容室中的壓力回升。在定容室體積一成不變的條件下，經(jīng)過測量定容室中的壓力變遷值和所用的工夫，思忖到熱度的修改，可失去正壓漏孔的漏率：
式中Q為正壓漏孔的漏率，Pa·L/s;V為定容室的體積,L;△p為定容室中的壓力變遷值，Pa;△t為定容室中的壓力變遷△p時所用的工夫，s;Tr為參考熱度，296K;T為定容室中的氣體熱度，K。
當測量較大的漏率時，因為定容室中壓力最大容許變遷量△p為入口壓力的5%，即5kPa，從式（2）可知，那時要增多定容室的體積（10L）和縮小測量工夫，以滿足定容室中的壓力變遷量△p不勝于入口壓力的5%。當測量較小的漏率時，為了滿足定容室中的壓力變遷量△p和測量工夫△t不至于太長，應(yīng)放量減小定容室體積（3×10-2L）。
依據(jù)100~5×10-3Pa漏率的校準規(guī)模，設(shè)計了4個體積不等的定容室。定容室中的壓力采納了美國MKS公司生產(chǎn)的庫容地膜規(guī)測量。當測量的壓力變遷規(guī)模在100~5000Pa時，用133kPa庫容地膜規(guī)測量；當測量的壓力變遷規(guī)模在50~133Pa時，用133Pa差壓式庫容地膜規(guī)測量。
定容法的測量下限重要在于于定容室體積，10L(定容室Ⅱ的漏率測量下限可達100PaL/s，可以滿足對漏率較大的正壓漏孔的校準。定容法的測量上限重要在于于熱度穩(wěn)定，為5×10-3PaL/s。1.2、定量氣體靜態(tài)比擬法
利用定容法校準較小漏率的正壓漏孔會產(chǎn)生較大的誤差。所以當正壓漏孔的漏率較時辰，氣體流入定容室所導(dǎo)致的壓力變遷無比慢，這就要增多測量工夫△t，那時由熱度穩(wěn)定導(dǎo)致的壓力變遷量已大于氣體流入定容室中導(dǎo)致的壓力變遷量，因而制約了定容法的校準上限。為理解決較小漏率正壓漏孔的校準問題，提出了用定量氣體靜態(tài)比擬法校準正壓漏孔，以蔓延正壓漏孔的校準上限。
定量氣體靜態(tài)比擬法是在累積室中充入一個大氣壓的大氣，經(jīng)過正壓漏孔把示透氣體引入累積室中。通過△t的累積工夫，將累積室中的混合氣體收縮到10L的定容室Ⅱ中時繼續(xù)壓力衰減，通盡量子流靜態(tài)進樣引入到質(zhì)譜綜合室中，用四極質(zhì)譜計測量示透氣體的分壓強p1；再把規(guī)范壓力為ps的示透氣體用已知小體積配制成ps×V1定量氣體，并與累積室中的一個大氣壓的大氣混合后收縮到定容室Ⅱ中，通盡量子流靜態(tài)進樣引入到質(zhì)譜綜合室中，用四極質(zhì)譜計測量定量氣體的分壓力p2。經(jīng)過比擬兩次測得的示透氣體分壓力，劃算出正壓漏孔的漏率：
四極質(zhì)譜計理論測量的是示透氣體的分壓力所對應(yīng)的離子流。設(shè)累積氣體中的示透氣體所對應(yīng)的離子流為1L，定量氣體中的示透氣體所對應(yīng)的離子流為IV。那末思忖到大氣中含有的示透氣體成份和示透氣體對正壓漏孔校準零碎的凈化，用累積室配制一個大氣壓的大氣樣品，收縮到10L的定容室Ⅱ中，通盡量子流靜態(tài)進樣引入到質(zhì)譜室中，用四極質(zhì)譜計測量對應(yīng)于示透氣體的離子流為IA，由式（2）可得理論的漏率劃算公式如次：
為了增多示透氣體的深淺和縮小示透氣體的累積工夫，務(wù)必放量減小累積室體積。累積室體積由正壓漏孔的入口端與閥門11之間的小體積組成，小于10ml。
為了防止四極質(zhì)譜計線性誤差，經(jīng)過調(diào)節(jié)示透氣體規(guī)范壓力ps，或選用1ml或10ml的定量體積繼續(xù)配氣，使得兩次測量的示透氣體離子流IA與IL放量地瀕臨。示透氣體的規(guī)范壓力調(diào)節(jié)規(guī)模為1.33×103~10Pa，可用滿量程13.3kPa庫容地膜規(guī)測量。氣體累積工夫△t為100~10000，校準規(guī)模為2×10-2~5×10-5PaL/s。
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